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Rasterelektronenmikroskop XL40
Bei der Rasterlektronenmikroskopie wird ein Ausschnitt der Probenoberfläche mit einem fein fokussierten Elektronenstrahl von wenigen Nanometern Durchmesser abgetastet. Im Unterschied zur Lichtmikroskopie können hierbei morphologische Merkmale bei sehr hoher Vergrößerung und Tiefenschärfe abgebildet werden.
Außerdem kommt es zu einer Wechselwirkung des Elektronenstrahles mit den Atomhüllen der Elemente des zu untersuchenden Materiales. Dabei entsteht u.a. eine elementtypische Röntgenfluoreszenzstrahlung, die mit einem energie- (EDX) oder wellenlängen-dispersiven (WDX) Detektorsystem aufgezeichnet und zur Analyse genutzt werden kann.